«Наука в Сибири»
№ 10 (2945)
13 марта 2014 г.
ДВИЖУЩАЯ СИЛА НАУКИ —
ОБМЕН ИДЕЯМИ
В конце февраля между Сибирским отделением Российской академии наук и Межуниверситетским центром микроэлектроники (IMEC), расположенным в г.Левен (Бельгия), был окончательно согласован и подписан Меморандум о намерениях по научному сотрудничеству, открывающий для участников проекта новые возможности и новые перспективы. Впереди — большая работа, а пока мы беседуем с заместителем директора Института физики полупроводников
Ю. Александрова, «НВС»
— Анатолий Васильевич, почему в качестве партнёра научной кооперации выбран именно этот бельгийский Межуниверситетский центр?
— Дело в том, что в мире существуют всего две подобные организации с таким потенциалом, выполняющие разработку промышленной технологии для микро- и наноэлектроники и обеспечивающие потребности крупных фирм, выпускающих электронную продукцию (Intel, Samsung). Одна из таких структур как раз и находится в Бельгии, а вторая — в США. Но много подобных организаций иметь и не нужно, как не надо и много фирм, выпускающих базовые микросхемы, широко используемые в компьютерной технике, видиосистемах, системах связи. Производство таких схем ведется в автоматическом режиме на современнейшем, очень дорогом оборудовании (на которое мы порой и рассчитывать не можем), и они способны сделать необходимое количество для большинства потребителей. А потом понадобятся только технологические центры, которые в состоянии поддерживать и развивать полупроводниковую технологию.
 |
| Профессор М.Р. Бакланов и чл.-корр. РАН А.В. Двуреченский (слева направо) на международном симпозиуме материаловедческого общества, на котором М.Р. Бакланов руководил секцией по диэлектрикам с низкой и высокой диэлектрической проницаемостью. Сан-Франциско, 2013 год. |
— Хорошо, ну тогда чуть подробнее про сам IMEC — что из себя представляет, чем занимается?
— С Межуниверситетским центром микроэлектроники нас связывает давнее партнёрство, тем более что в нём работает бывший сотрудник Института физики полупроводников профессор М. Бакланов. Там периодически бывают наши учёные, я и сам посещал IMEC года три назад, так что идея возникла не на пустом месте, иначе это был бы «нулевой цикл». Основной задачей Центра является разработка перспективных технологий на таком же оборудовании, которое размещается на производственных предприятиях. Оборудование на таких фирмах функционирует круглосуточно по уже обкатанной технологии, и изменить какие-то параметры невозможно — велик риск появления брака. А отработать технологию, не меняя параметры, нельзя. Так вот, точно такое оборудование установлено в IMEC — здесь могут крутить ручки, как хотят, поскольку работа не нацелена на выпуск готовой продукции. Их задача — на малых партиях продемонстрировать возможность выпуска новых изделий, а потом передать их технологию на соответствующую фирму. Это своего рода промежуточное звено.
Кстати, от отсутствия такого звена очень страдает наша, российская промышленность. Сейчас, правда, ситуация начинает меняться, появляются заказы в академические институты от ведомственных организаций, занимающихся разработкой технологии для отечественных заводов. И это хороший знак намечающейся связи фундаментальной науки и производства, тем более сейчас, когда перед Российской академией наук ставят задачи связи проводимых исследований с проблемами в промышленности. Но здесь обязательно нужны промежуточные звенья.
В бельгийском Центре работа построена таким образом: имеются отдельные подразделения, в рамках которых в обстановке строгой конфиденциальности разрабатывается технология для определённых фирм, причём сотрудники разных подразделений не имеют права обмениваться информацией о деталях технологии. Так что деятельность у IMEC чисто прикладная.
Что касается научной работы, Центру, конечно, нужны новые идеи, есть возможность их реализации. Что они и делают путём кооперации с университетами всего мира, но, прежде всего, с теми, которые расположены в Европе. Сотрудники IMEC проводят совместные работы, регулярно пишут книги, публикуют результаты исследований. Сотрудники ИФП СО РАН также ведут совместные работы с IMEC — в Центре делают для института образцы с использованием технологического оборудования, которого нет у нас, мы проводим исследования с использованием возможностей нашего аналитического оборудования.
— Долго ли велась подготовка к подписанию меморандума?
— IMEC соглашения быстро не заключает. Мы начали обсуждение ещё в сентябре, во время работы форума «Технопром-2013», который проходил в Новосибирске. К нам из IMEC прибыли заместитель директора по перспективным разработкам в области микроэлектроники К. Кляйс и профессор М. Бакланов. Председатель СО РАН академик А. Л. Асеев пригласил их в СО РАН для обсуждения подготовленных нами предложений по заключению соглашения между СО РАН и IMEC. Тогда же в Институте физики полупроводников СО РАН было проведено совещание, на котором с предложениями по сотрудничеству выступили академик Ф. А. Кузнецов (ИНХ СО РАН), академик Н. З. Ляхов (ИХТТМ СО РАН),
— Понятно, для того, чтобы запустить подобный масштабный проект, у сторон должен присутствовать немалый взаимный интерес. Какой же он в данном случае и для чего это нужно сибирским учёным?
— Конечно, Центр — это не та организация, от которой можно ждать финансовой поддержки напрямую, путём заключения договоров или соглашений; они сами зарабатывают деньги, работая с очень крупными фирмами. Во-первых, нам важно, чтобы мы с их участием могли входить в совместные программы, конкурсы, которые объявляются в основном Европейским Союзом. Дело в том, что престиж Межуниверситетского центра достаточно высок, и если они вместе с нами участвуют в какой-то программе, то шансы выиграть конкурс у нас повышаются в разы. Во-вторых, они готовы в рамках совместной работы на своем оборудовании производить для нас те операции, которые не делаются у нас.
Словом, для Сибирского отделения это дополнительные возможности — к тем, что уже имеются, добавляется кооперация с таким мощным партнером. И IMEC идет на это с удовольствием, потому что для них, в свою очередь, это новые идеи, совместные разработки, а для институтов СО РАН — реальная возможность использования уникального оборудования. Так что взаимная заинтересованность налицо. И, конечно, необходим контакт с конкретными сотрудниками.
— Какие сферы охватывает это двустороннее взаимодействие?
— Цель подписания меморандума — укрепить сотрудничество в научно-исследовательской области. Речь идёт о кооперации в следующих областях: функциональные материалы для электроники, микро- и наномеханических системы, фотоника, рентгенооптика, элементы памяти на основе магниторезистивных структур, сверхкоденсаторы, диэлектрики с низкой диэлектрической проницаемостью, прекурсоры для осаждения металла.
Гости из IMEC предложили также включиться в работу по направлению, которым они занимаются — речь идёт об экстремальном ультрафиолете. В настоящее время при создании современных микросхем прослеживается общая тенденция уменьшения характерного размера транзистора; сейчас минимальный размер в производстве — 22 нанометра. А чтобы сделать рельеф поверхности с меньшим размером, нужно, соответственно, использовать электромагнитное излучение с меньшей длиной волны. Проблема создания источника излучения с такой длиной волны достаточно актуальна для современной электронной промышленности.
— И что в планах на ближайшее будущее?
— По сути, меморандум — это не конкретная работа с конкретными параметрами. Ведь продолжается основная совместная деятельность, хотя и в расширенном формате: обмен научной информацией, публикации результатов совместных исследований, организация взаимных визитов, конференций, семинаров, совместное проведение исследований и передача образцов. Для проведения общих экспериментов и научной работы обеими сторонами будут использоваться производственные мощности и уникальное оборудование. Срок действия меморандума — 5 лет, с возможностью продления при необходимости. Кроме того, в эту работу будут вовлечены институты СО РАН, которые ранее не имели контактов с IMEC. Институт неорганической химии, как и мы, давно и плотно сотрудничает с IMEC. Я думаю, что подписание такого меморандума во многом поможет, станет первым шагом в начале совместных работ для тех, кто только знакомится с возможностями IMEC. Это также перспектива для личных встреч и обсуждений.
Проекты, которые выполняются в рамках Европейского союза, как правило, междисциплинарные. В них участвуют учёные из университетов и институтов различных стран и промышленные предприятия. Создание консорциума, включающего как можно большее число представителей из разных стран, осуществляется для того, чтобы участники имели возможность более широкого обмена идеями, знакомства с разным кругом учёных, дискуссий, что, собственно, и дает синергетический эффект в достижении поставленной цели. Это и есть движущая сила развития науки.
стр. 6