Современные проблемы прикладной математики и механики: теория, эксперимент и практика

Международная конференция, посвященная 80-летию академика Н.Н.Яненко.
Новосибирск, Академгородок, 24 - 29 июня 2001 года.

Тезисы докладов

Доклады новосибирских участников

Оптимизация скорости травления в плазмохимическом реакторе в смеси CF4/O2

Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.

Институт вычислительных технологий СО РАН (Новосибирск)

В работе показана возможность оптимизации плазмо-химического травления (ПХТ) кремния в CF4/O2 по составу бинарной смеси в реакторе радиальной схемы. Для численных расчетов использовалась математическая модель неизотермического реактора с многокомпонентной кинетикой, содержащей 12 реагентов - F, F2, CF2, CF3, CF4, C2F6, O, O2, CO, CO2, COF, COF2. На пленке кремния дополнительно рассматривались процессы адсорбции CF2 и CF3 и "конкуренции" хемосорбционных центров атомарных фтора и кислорода. Представлены результаты оптимизационных расчетов скорости и однородности ПХТ в зависимости от процентного содержания O2 в исходной рабочей смеси. Найдена оптимальная концентрация O2, при которой скорость травления втрое превышает среднюю скорость травления в чистом CF4. Показано слабое влияние адсорбционных слоев CF2, CF3 на скорость ПХТ в CF4/O2.

Дополнительные материалы: PDF (647 kb)
Примечание. Тезисы докладов публикуются в авторской редакции

Ваши комментарии
Обратная связь

[Головная страница]
[Конференции]